LOW-TEMPERATURE ANNEALED CONTACTS TO VERY THIN GAAS EPILAYERS

被引:22
作者
PATRICK, W
MACKIE, WS
BEAUMONT, SP
WILKINSON, CDW
机构
关键词
D O I
10.1063/1.96632
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:986 / 988
页数:3
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