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POROUS STRUCTURE OF SIO2-FILMS SYNTHESIZED AT LOW-TEMPERATURE AND PRESSURE

被引：40
作者：
BAKLANOV, MR
VASILYEVA, LL
GAVRILOVA, TA
DULTSEV, FN
MOGILNIKOV, KP
NENASHEVA, LA
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1989年 / 171卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(89)90032-1
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：43 / 52
页数：10
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