一种用于半导体器件的测试装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322654857.2
申请日
2023-09-28
公开(公告)号
CN220854969U
公开(公告)日
2024-04-26
发明(设计)人
蒋小金 刘栋 刘顺
申请人
芯恩(青岛)集成电路有限公司
申请人地址
266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401
IPC主分类号
G01R1/04
IPC分类号
G01R31/26 G05D23/19
代理机构
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人
黄海霞
法律状态
授权
国省代码
山东省 青岛市
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共 50 条
[41]
一种半导体器件测试装置 [P]. 
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郑博 .
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一种半导体器件测试装置 [P]. 
董超 ;
任亚东 ;
曾文彬 ;
孙永伟 ;
石铿 ;
陈本龙 ;
奉琴 ;
邓超 .
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[43]
一种半导体器件测试装置 [P]. 
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[50]
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