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一种基于铜柱凸点的互连结构及其制备方法与应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410177263.3
申请日：
2024-02-08
公开(公告)号：
CN117976648A
公开(公告)日：
2024-05-03
发明(设计)人：
刘志权
李晓
李哲
张琦
申请人：
中国科学院深圳先进技术研究院
申请人地址：
518055 广东省深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号
IPC主分类号：
H01L23/498
IPC分类号：
H01L21/48
H01L21/768
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
宫美玲
法律状态：
公开
国省代码：
北京市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-03 | 公开 | 公开 |
| 2024-05-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/498申请日:20240208 |