一种基于深度学习算法的CMOS的缺陷检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410166424.9
申请日
2024-02-06
公开(公告)号
CN117710377A
公开(公告)日
2024-03-15
发明(设计)人
李彦庆 余毅 郭同健 何锋赟 刘卫佳
申请人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
IPC主分类号
G06T7/00
IPC分类号
G06N3/045 G06N3/0464 G06N3/08 G06T3/4038 G06T5/90 G06T5/40 G06T5/50 G01N21/88
代理机构
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218
代理人
孙艳辉
法律状态
实质审查的生效
国省代码
北京市
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共 50 条
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