低电阻率触点和互连部

被引：0

申请号：

CN202180036710.8

申请日：

2021-05-21

公开(公告)号：

CN115668480A

公开(公告)日：

2023-01-31

发明(设计)人：

拉伊汉·M·塔拉夫达尔照健·史蒂文·黎罗郑硕

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21285

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;张静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20210521
2023-01-31	公开	公开

共 50 条

[1]

低电阻率接触 [P].

R.J.瑟里恩 ;

J.D.里德 ;

J.A.拉姆齐 ;

A.L.格雷 .

中国专利 :CN103890985A ,2014-06-25

[2]

低电阻率钨膜及制造方法 [P].

王飞虎 ;

李正周 ;

岑羲 ;

袁智博 ;

雷伟 ;

吴凯 ;

周春明 ;

陈哲擘 .

中国专利 :CN114946012A ,2022-08-26

[3]

低电阻率钨膜及制造方法 [P].

王飞虎 ;

李正周 ;

岑羲 ;

袁智博 ;

雷伟 ;

吴凯 ;

周春明 ;

陈哲擘 .

美国专利 :CN114946012B ,2025-09-26

[4]

低电阻率的钽 [P].

E·C·库尼三世 ;

C·E·乌佐 .

中国专利 :CN1290940A ,2001-04-11

[5]

低电阻率石墨线 [P].

阮江军 ;

龚若涵 ;

胡元潮 ;

文武 ;

周军 ;

吴泳聪 .

中国专利 :CN204189471U ,2015-03-04

[6]

低电阻率间隙填充 [P].

杨宗翰 ;

刘震 ;

高勇谦 ;

侯文婷 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN120226140A ,2025-06-27

[7]

低电阻率水性导电丝网油墨 [P].

袁国林 ;

张世范 ;

张妤 ;

孟庆飞 ;

蒋军华 ;

孙明珠 .

中国专利 :CN103436091B ,2013-12-11

[8]

形成低电阻率贵金属互连的装置及方法 [P].

张洵渊 ;

法兰克·W·蒙特 ;

埃罗尔·特德·莱恩 .

中国专利 :CN107452714B ,2017-12-08

[9]

包括相对低的电阻率的芯的互连导线 [P].

俞辉在 ;

T·K·因杜库里 ;

R·V·谢比亚姆 ;

J·S·克拉克 .

中国专利 :CN113809003A ,2021-12-17

[10]

包括相对低的电阻率的芯的互连导线 [P].

俞辉在 ;

T·K·因杜库里 ;

R·V·谢比亚姆 ;

J·S·克拉克 .

中国专利 :CN107731785B ,2018-02-23

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