半导体装置及其制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN01135500.X
申请日
2001-10-19
公开(公告)号
CN1350332A
公开(公告)日
2002-05-22
发明(设计)人
关川信之 平田光一 木绵正明 榎本伸也
申请人
申请人地址
日本大阪府
IPC主分类号
H01L2700
IPC分类号
H01L2170
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司
代理人
王岳;叶恺东
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[21]
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