在衬底上制备多级台阶的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410720797.2

申请日：

2014-12-02

公开(公告)号：

CN104445051A

公开(公告)日：

2015-03-25

发明(设计)人：

杨健司朝伟韩国威宁瑾赵永梅梁秀琴王晓东杨富华

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

任岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101607361531 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2014107207972 申请日:20141202
2015-03-25	公开	公开
2016-10-19	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101740233556 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2014107207972 申请公布日:20150325

共 50 条

[1]

在衬底上形成图案的方法 [P].

李泰文 ;

杨拥平 .

中国专利 :CN111724816A ,2020-09-29

[2]

一种在衬底上制备图案的方法 [P].

曾凡初 ;

黄翀 .

中国专利 :CN108198752A ,2018-06-22

[3]

在衬底上制备空气桥的方法 [P].

刘训春 ;

李无暇 ;

王润海 ;

罗明雄 .

中国专利 :CN1466189A ,2004-01-07

[4]

制备多级台阶微结构的方法 [P].

伦婷婷 ;

李俊杰 ;

潘如豪 ;

张忠山 .

中国专利 :CN116224728B ,2025-07-22

[5]

一种在SiO2衬底上生长硫化锗单晶薄膜的制备方法 [P].

李国强 ;

陈胜 ;

王文樑 ;

柴吉星 .

中国专利 :CN113972299A ,2022-01-25

[6]

在蓝宝石衬底上制备微纳米图形的方法 [P].

董鹏 ;

王军喜 ;

闫建昌 ;

张韵 ;

曾建平 ;

孙莉莉 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN103311097A ,2013-09-18

[7]

一种在SiO<sub>2</sub>衬底上生长硫化锗单晶薄膜的制备方法 [P].

李国强 ;

陈胜 ;

王文樑 ;

柴吉星 .

中国专利 :CN113972299B ,2024-03-22

[8]

一种在不同衬底材料上制备薄膜的方法 [P].

胡卉 ;

胡文 ;

李洋洋 ;

李真宇 ;

张秀全 .

中国专利 :CN109686659A ,2019-04-26

[9]

在衬底上沉积材料的方法 [P].

吹上纪明 ;

凯瑟琳娜·巴比彻 .

中国专利 :CN100490069C ,2006-11-22

[10]

一种在透光衬底上制备微纳米结构图案的方法 [P].

李若松 ;

黄翀 .

中国专利 :CN108091552B ,2018-05-29

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