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一种温度控制装置、集成电路制造设备及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010898898.4
申请日：
2020-08-31
公开(公告)号：
CN112083742B
公开(公告)日：
2020-12-15
发明(设计)人：
何茂栋
芮守祯
曹小康
常鑫
冯涛
宋朝阳
董春辉
李文博
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
IPC主分类号：
G05D2319
IPC分类号：
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
马瑞
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 23/19 申请日:20200831 |
| 2021-10-26 | 授权 | 授权 |
| 2020-12-15 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-21 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G05D 23/19 变更事项:申请人 变更前:北京京仪自动化装备技术有限公司 变更后:北京京仪自动化装备技术股份有限公司 变更事项:地址 变更前:100176 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座 变更后:100176 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座 |