化学气相沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580025756.4

申请日：

2015-03-18

公开(公告)号：

CN106460167B

公开(公告)日：

2017-02-22

发明(设计)人：

G·本韦努蒂 E·瓦格纳 C·桑杜

申请人：

申请人地址：

法国普伊

IPC主分类号：

C23C1604

IPC分类号：

C23C1640 C23C1646 C23C1656 G09F300

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司 11270

代理人：

康艳青;姚开丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101708781910 IPC(主分类):C23C 16/04 专利申请号:2015800257564 申请日:20150318
2019-06-14	授权	授权
2017-02-22	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积装置、化学气相沉积方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103060772B ,2013-04-24

[2]

化学气相沉积装置和化学气相沉积方法 [P].

酒井士郎 ;

高松勇吉 ;

森勇次 ;

直井弘之 ;

H·X·王 ;

石滨义康 ;

纲岛丰 .

中国专利 :CN1259450C ,2002-04-17

[3]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘忠范 ;

亓月 ;

杨钰垚 ;

袁昊 .

中国专利 :CN118814133A ,2024-10-22

[4]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN102851651A ,2013-01-02

[5]

化学气相沉积系统、化学气相沉积系统的装置和化学气相沉积方法 [P].

N·P·德斯科维奇 ;

W·D·格罗夫 .

中国专利 :CN105369211A ,2016-03-02

[6]

化学气相沉积方法 [P].

孙旭海 ;

刘满成 .

中国专利 :CN121204634A ,2025-12-26

[7]

化学气相沉积方法 [P].

刘忠范 ;

亓月 ;

杨钰垚 ;

袁昊 .

中国专利 :CN119082695A ,2024-12-06

[8]

化学气相沉积方法 [P].

张盈盈 .

中国专利 :CN119372622A ,2025-01-28

[9]

化学气相沉积方法 [P].

徐兴国 ;

张凌越 ;

姜波 .

中国专利 :CN113046731A ,2021-06-29

[10]

化学气相沉积方法 [P].

周云 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN111235547B ,2020-06-05

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