碳化硅粉末和碳化硅单晶的制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201380076003.7
申请日
2013-11-27
公开(公告)号
CN105246826A
公开(公告)日
2016-01-13
发明(设计)人
增田贤太 一坪幸辉 铃木将和 野中洁 加藤智久 田中秀秋
申请人
申请人地址
日本国东京都
IPC主分类号
C01B3136
IPC分类号
C30B2936
代理机构
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人
庞东成;褚瑶杨
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
碳化硅单晶和碳化硅单晶的制造方法 [P]. 
境谷省吾 .
中国专利 :CN115427615A ,2022-12-02
[2]
碳化硅单晶锭、碳化硅晶片和碳化硅单晶的制造方法 [P]. 
别役洁 ;
星乃纪博 ;
镰田功穗 ;
土田秀一 ;
冈本武志 ;
神田贵裕 .
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[3]
碳化硅单晶块的制造方法和碳化硅单晶块 [P]. 
谷小桃 ;
矢野孝幸 ;
藤本辰雄 ;
柘植弘志 ;
龟井一人 ;
楠一彦 ;
关和明 .
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[4]
碳化硅单晶晶圆、碳化硅单晶锭和碳化硅单晶的制造方法 [P]. 
梅崎智典 ;
熊谷和人 ;
高野学 .
日本专利 :CN118043504A ,2024-05-14
[5]
碳化硅单晶的制造方法和碳化硅单晶锭 [P]. 
別役洁 ;
星乃纪博 ;
镰田功穗 ;
土田秀一 ;
堀合慧祥 ;
冈本武志 .
日本专利 :CN117822109A ,2024-04-05
[6]
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冲田恭子 ;
川濑智博 ;
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
碳化硅单晶的制造方法和碳化硅基板 [P]. 
川濑智博 .
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