用于形成非晶体导电性氧化物膜的前体组合物和方法

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专利类型
发明
申请号
CN201180034573.0
申请日
2011-07-08
公开(公告)号
CN102971807A
公开(公告)日
2013-03-13
发明(设计)人
下田达也 李金望
申请人
申请人地址
日本埼玉县
IPC主分类号
H01B1300
IPC分类号
C01G5500 H01B514 H01L2128 H01L21288 H01L21336 H01L29786
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人
庞立志;孟慧岚
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
无定形导电性氧化物膜的形成方法 [P]. 
下田达也 ;
李金望 .
中国专利 :CN103946930B ,2014-07-23
[2]
形成导电性氧化物膜的方法、导电性氧化物膜及其应用 [P]. 
J·毛拉 .
中国专利 :CN102666914B ,2012-09-12
[3]
导电性层叠体及金属氧化物组合物 [P]. 
清野数马 .
中国专利 :CN107051848A ,2017-08-18
[4]
带透明导电性氧化物膜的基体 [P]. 
东诚二 ;
增茂邦雄 .
中国专利 :CN103296101A ,2013-09-11
[5]
氧化物烧结体、氧化物溅射靶和导电性氧化物薄膜以及氧化物烧结体的制造方法 [P]. 
奈良淳史 .
中国专利 :CN105481352A ,2016-04-13
[6]
氧化物烧结体、氧化物溅射靶和导电性氧化物薄膜以及氧化物烧结体的制造方法 [P]. 
奈良淳史 .
中国专利 :CN109437856A ,2019-03-08
[7]
用于形成导电透明氧化物膜层的设备和方法 [P]. 
S·D·费尔德曼-皮博迪 ;
R·W·布莱克 .
中国专利 :CN102312194A ,2012-01-11
[8]
导电性氧化物及其制造方法以及氧化物半导体膜 [P]. 
宫永美纪 ;
曾我部浩一 ;
粟田英章 ;
冈田浩 ;
吉村雅司 .
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[9]
形成氧化物膜的方法和氧化物沉积设备 [P]. 
李振镐 ;
韩泳基 ;
郭在灿 .
中国专利 :CN101050523A ,2007-10-10
[10]
导电性氧化物烧结体及其制造方法 [P]. 
奈良淳史 .
中国专利 :CN103748055A ,2014-04-23