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一种制备半导体外延片的MOCVD反应装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410558331.7
申请日：
2014-10-20
公开(公告)号：
CN104264217A
公开(公告)日：
2015-01-07
发明(设计)人：
王钢
李健
范冰丰
申请人：
申请人地址：
528222 广东省佛山市南海区南海软件园信息大道崇贤楼A栋三层
IPC主分类号：
C30B2508
IPC分类号：
C23C1618
代理机构：
广州圣理华知识产权代理有限公司 44302
代理人：
顿海舟;陈业胜
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-29 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C30B 25/08 登记生效日:20201216 变更事项:专利权人 变更前权利人:佛山市中山大学研究院 变更后权利人:佛山市中山大学研究院 变更事项:地址 变更前权利人:528222 广东省佛山市南海区南海软件园信息大道崇贤楼A栋三层 变更后权利人:528222 广东省佛山市南海区南海软件园信息大道崇贤楼A栋三层 变更事项:专利权人 变更后权利人:中山大学 |
| 2015-01-07 | 公开 | 公开 |
| 2017-06-16 | 授权 | 授权 |
| 2021-04-02 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C30B 25/08 登记生效日:20210323 变更事项:专利权人 变更前权利人:佛山市中山大学研究院 变更后权利人:上海您惦半导体科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:528222 广东省佛山市南海区南海软件园信息大道崇贤楼A栋三层 变更后权利人:201600 上海市松江区玉树路1569号11幢7层G08 变更事项:专利权人 变更前权利人:中山大学 |
| 2015-02-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101596971645 IPC(主分类):C30B 25/08 专利申请号:2014105583317 申请日:20141020 |