一种制备半导体外延片的MOCVD反应装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420606400.2

申请日：

2014-10-20

公开(公告)号：

CN204151456U

公开(公告)日：

2015-02-11

发明(设计)人：

王钢李健范冰丰

申请人：

申请人地址：

528222 广东省佛山市南海区南海软件园信息大道崇贤楼A栋三层

IPC主分类号：

C30B2508

IPC分类号：

C23C1618

代理机构：

广州圣理华知识产权代理有限公司 44302

代理人：

顿海舟;陈业胜

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种制备半导体外延片的MOCVD反应装置 [P].

王钢 ;

李健 ;

范冰丰 .

中国专利 :CN104264217A ,2015-01-07

[2]

一种半导体外延片 [P].

孙一军 ;

金豫浙 ;

冯亚萍 ;

李志聪 ;

王国宏 .

中国专利 :CN206116447U ,2017-04-19

[3]

一种半导体外延片 [P].

陈海宁 .

中国专利 :CN209896040U ,2020-01-03

[4]

半导体外延片 [P].

苏军 .

中国专利 :CN218101270U ,2022-12-20

[5]

一种外延片及半导体外延器件 [P].

闫其昂 ;

王国斌 .

中国专利 :CN217822838U ,2022-11-15

[6]

一种半导体外延片载片盘及其支撑装置及MOCVD反应室 [P].

魏唯 ;

罗才旺 ;

贾京英 ;

陈特超 ;

孙雪平 ;

吕文利 .

中国专利 :CN102758192B ,2012-10-31

[7]

基于温度补偿的半导体外延片的制备方法及半导体外延片 [P].

闫其昂 ;

王国斌 .

中国专利 :CN114566571A ,2022-05-31

[8]

半导体外延片真空夹持装置 [P].

胡忞远 ;

阳红涛 ;

刘应军 ;

方小涛 .

中国专利 :CN203134768U ,2013-08-14

[9]

一种半导体外延片真空夹持装置 [P].

胡晓海 .

中国专利 :CN220324435U ,2024-01-09

[10]

半导体外延设备（MOCVD设备） [P].

王涛 .

中国专利 :CN309335870S ,2025-06-13

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