自动控制光刻胶厚度的方法和系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010022613.7

申请日：

2010-01-08

公开(公告)号：

CN102122116B

公开(公告)日：

2011-07-13

发明(设计)人：

乔辉罗大杰

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

董巍;顾珊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101100310835 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2010100226137 申请日:20100108
2012-07-25	授权	授权
2013-01-23	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101499801434 IPC(主分类):G03F 7/16 专利号:ZL2010100226137 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121219
2011-07-13	公开	公开

共 50 条

[1]

优化光刻胶厚度的方法 [P].

蔡航 .

中国专利 :CN119861534A ,2025-04-22

[2]

光刻胶厚度的调整方法及系统 [P].

林锺吉 ;

宋載榮 .

中国专利 :CN120370630A ,2025-07-25

[3]

光刻胶厚度异常的检测方法 [P].

杨晓松 ;

易旭东 .

中国专利 :CN106154755A ,2016-11-23

[4]

光刻胶厚度的确定方法 [P].

周兵兵 .

中国专利 :CN106323181A ,2017-01-11

[5]

可精准控制厚度的光刻胶喷涂装置 [P].

杨铭 ;

洪芳 ;

贾涛 ;

文倩 ;

王海文 .

中国专利 :CN222943709U ,2025-06-06

[6]

调节光刻胶层厚度值的方法和系统 [P].

刘洋 .

中国专利 :CN107492503B ,2017-12-19

[7]

光刻胶和光刻胶图形的优化方法 [P].

林益世 ;

黄宜斌 .

中国专利 :CN102262357A ,2011-11-30

[8]

光刻胶喷嘴器件和光刻胶供应系统 [P].

曾国书 ;

陈有峰 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN104730866A ,2015-06-24

[9]

光刻胶喷嘴器件和光刻胶供应系统 [P].

曾国书 ;

陈有峰 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN113917787A ,2022-01-11

[10]

光刻胶供应装置和光刻胶供应系统 [P].

徐阳 ;

余坚 ;

纪开勋 ;

杜龙 ;

李晨 .

中国专利 :CN217767184U ,2022-11-08

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