自对准局部互连工艺中对于栅极的选择性局部互连

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080032262.6

申请日：

2010-06-01

公开(公告)号：

CN102460671A

公开(公告)日：

2012-05-16

发明(设计)人：

理查德·T·舒尔茨

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2160

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-26	授权	授权
2012-05-16	公开	公开
2012-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101271736873 IPC(主分类):H01L 21/60 专利申请号:2010800322626 申请日:20100601

共 50 条

[1]

自对准局部互连 [P].

A·D·利拉克 ;

E·曼内巴赫 ;

A·潘 ;

R·申克尔 ;

S·A·博亚尔斯基 ;

W·拉赫马迪 ;

P·莫罗 ;

J·比勒费尔德 ;

G·杜威 ;

H·载允 ;

N·卡比尔 .

中国专利 :CN111564428A ,2020-08-21

[2]

用于形成自对准触点和局部互连的方法 [P].

理查德·T·舒尔茨 .

中国专利 :CN103946971A ,2014-07-23

[3]

自对准栅极边缘和局部互连件及其制造方法 [P].

M·C·韦布 ;

M·博尔 ;

T·加尼 ;

S·S·廖 .

中国专利 :CN106415800B ,2017-02-15

[4]

形成自对准局部互连的方法和由此形成的结构 [P].

C·W·考伯格三世 ;

D·V·霍拉克 ;

S·波诺斯 ;

杨智超 ;

范淑贞 ;

S·K·卡纳卡萨巴帕西 .

中国专利 :CN102456617A ,2012-05-16

[5]

选择性蚀刻的自对准通孔工艺 [P].

林永臣 ;

周清军 ;

张郢 ;

何扬·大卫·黄 ;

乌代·米特拉 ;

瑞加娜·弗雷德 .

中国专利 :CN110021555A ,2019-07-16

[6]

局部互连结构的制作方法 [P].

王冬江 ;

黄敬勇 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103928392A ,2014-07-16

[7]

选择性蚀刻的自对准过孔工艺 [P].

林永振 ;

周凯文 ;

张郢 ;

黄和涌 .

中国专利 :CN111095525A ,2020-05-01

[8]

选择性蚀刻的自对准过孔工艺 [P].

林永振 ;

周凯文 ;

张郢 ;

黄和涌 .

美国专利 :CN111095525B ,2024-07-26

[9]

局部互连结构的制作方法 [P].

李敏 ;

吴永玉 .

中国专利 :CN106952866A ,2017-07-14

[10]

具有本地互连的自对准栅极端帽（SAGE）架构 [P].

S.苏布拉马尼恩 ;

W.M.哈费茨 ;

S.戈文达拉祖 ;

K.奇卡迪 .

中国专利 :CN111668214A ,2020-09-15

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