布处理方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN96190329.5

申请日：

1996-04-16

公开(公告)号：

CN1087795C

公开(公告)日：

1997-07-09

发明(设计)人：

浜田健一酒井义和山田和雄

申请人：

申请人地址：

日本福井县

IPC主分类号：

D06B324

IPC分类号：

D06B902 D06B2102 D06B2300

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

郑修哲

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1997-07-09	公开	公开
1997-09-17	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2010-08-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101004432806 IPC(主分类):D06B 3/24 专利号:ZL961903295 申请日:19960416 授权公告日:20020717
2002-07-17	授权	授权

共 50 条

[1]

处理液供给装置、基板处理装置及处理液供给方法 [P].

滩和成 .

日本专利 :CN119890075A ,2025-04-25

[2]

一种异常布草处理方法及布草处理装置 [P].

蒲进勇 ;

张锐 .

中国专利 :CN109460798A ,2019-03-12

[3]

处理装置及处理方法 [P].

内田健哉 ;

福井博之 ;

植松育生 ;

岩本武明 ;

权垠相 .

中国专利 :CN112970095A ,2021-06-15

[4]

处理装置及处理方法 [P].

佐佐木真一 ;

添田胜之 ;

西部幸伸 .

中国专利 :CN104037108A ,2014-09-10

[5]

处理装置及处理方法 [P].

内田健哉 ;

福井博之 ;

植松育生 ;

岩本武明 ;

权垠相 .

日本专利 :CN112970095B ,2024-05-03

[6]

处理液供给装置及方法、处理液及基板处理装置及方法 [P].

宫城雅宏 ;

荒木浩之 ;

铃木政典 ;

佐藤朋且 ;

川濑信雄 .

中国专利 :CN104662644A ,2015-05-27

[7]

基板处理装置及处理方法 [P].

詹育颖 ;

王敬龙 ;

许文诚 ;

曾增魁 ;

邓振坤 ;

谢和利 .

中国专利 :CN1707314A ,2005-12-14

[8]

抛光处理装置、基板处理装置及抛光处理方法 [P].

山口都章 ;

小畠严贵 ;

水野稔夫 .

中国专利 :CN105500181A ,2016-04-20

[9]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

大宅宗明 ;

北村翔也 .

日本专利 :CN117393462A ,2024-01-12

[10]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN119381291B ,2025-11-25

← 1 2 3 4 5 →