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一种金属互连结构的形成方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011086874.5
申请日：
2020-10-12
公开(公告)号：
CN112201619A
公开(公告)日：
2021-01-08
发明(设计)人：
张国伟
吴佳特
李武祥
申请人：
申请人地址：
230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
曹廷廷
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-08 | 公开 | 公开 |
| 2021-01-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20201012 |