用于安装曝光装置的中间掩模的轮

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910165288.7

申请日：

2009-08-14

公开(公告)号：

CN101727015A

公开(公告)日：

2010-06-09

发明(设计)人：

朴钟夏

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

吴贵明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-06-09	公开	公开
2012-07-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101404126656 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2009101652887 公开日:20100609

共 50 条

[1]

用于曝光的掩模版、曝光方法以及半导体晶片的生产方法 [P].

清水宏信 .

中国专利 :CN103019039A ,2013-04-03

[2]

用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器 [P].

宋旺圭 .

中国专利 :CN101727016A ,2010-06-09

[3]

曝光掩模和使用该曝光掩模的曝光方法 [P].

李树雄 ;

白尚润 .

中国专利 :CN1637594A ,2005-07-13

[4]

中间掩模检查装置和投影曝光装置 [P].

石田肇 ;

中本裕见 ;

田中浩 ;

川久保哲郎 ;

山部耕平 ;

松沢贤司 ;

千叶纯 ;

日吉诚人 .

日本专利 :CN119472159A ,2025-02-18

[5]

无掩模曝光装置 [P].

千田丽誉 .

中国专利 :CN202306138U ,2012-07-04

[6]

无掩模曝光装置 [P].

押田良忠 ;

内藤芳达 ;

铃木光弘 .

中国专利 :CN101526743A ,2009-09-09

[7]

使用曝光掩模的曝光方法 [P].

李树雄 ;

白尚润 .

中国专利 :CN1979344B ,2007-06-13

[8]

用于光掩模的薄膜以及包括该薄膜的曝光装置 [P].

宋伣在 ;

申铉振 .

中国专利 :CN107561853A ,2018-01-09

[9]

一种用于曝光装置的掩模台 [P].

江旭初 .

中国专利 :CN103376667B ,2013-10-30

[10]

曝光掩模的制造方法及其应用 [P].

伊藤正光 .

中国专利 :CN1389902A ,2003-01-08

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