用于光掩模的薄膜以及包括该薄膜的曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710377476.0

申请日：

2017-05-25

公开(公告)号：

CN107561853A

公开(公告)日：

2018-01-09

发明(设计)人：

宋伣在申铉振

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

G03F162

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

屈玉华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/62 申请日:20170525
2018-01-09	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜曝光装置以及薄膜曝光方法 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN103270454A ,2013-08-28

[2]

光掩模、光掩模组、曝光装置以及曝光方法 [P].

高野祥司 ;

松田文彦 ;

成泽嘉彦 .

中国专利 :CN103676495A ,2014-03-26

[3]

曝光方法、曝光装置以及光掩模 [P].

畠中公荣 .

中国专利 :CN103513516B ,2014-01-15

[4]

曝光掩模和使用该曝光掩模的曝光方法 [P].

李树雄 ;

白尚润 .

中国专利 :CN1637594A ,2005-07-13

[5]

薄膜以及使用该薄膜的半导体装置的制造方法 [P].

加藤良裕 ;

吹上纪明 .

中国专利 :CN101946311A ,2011-01-12

[6]

用于制造薄膜光伏系统的方法以及薄膜光伏系统 [P].

D·奥斯特曼 .

中国专利 :CN101834231A ,2010-09-15

[7]

曝光装置及其使用的光掩模 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN102597881B ,2012-07-18

[8]

用于V族掺杂的薄膜堆叠件、包括薄膜堆叠件的光伏器件以及用于形成具有薄膜堆叠件的光伏器件的方法 [P].

S.格罗弗 ;

李政昊 ;

李晓萍 ;

陆定原 ;

R.马利克 ;

熊刚 .

中国专利 :CN110546770A ,2019-12-06

[9]

用于安装曝光装置的中间掩模的轮 [P].

朴钟夏 .

中国专利 :CN101727015A ,2010-06-09

[10]

薄膜掩模修正装置 [P].

阿部和芳 ;

杉田健一 .

中国专利 :CN103792801A ,2014-05-14

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