一种制作半导体薄膜材料的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201010247769.5
申请日
2010-08-06
公开(公告)号
CN102375030A
公开(公告)日
2012-03-14
发明(设计)人
李冬梅 汪幸 刘明 周文 侯成诚 闫学锋 谢常青 霍宗亮
申请人
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号
G01N2902
IPC分类号
B82B300
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
周国城
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种制作半导体薄膜的方法 [P]. 
李冬梅 ;
汪幸 ;
刘明 ;
周文 ;
侯成诚 ;
闫学锋 ;
谢常青 ;
霍宗亮 .
中国专利 :CN102376889B ,2012-03-14
[2]
一种制作高选择性半导体薄膜材料的方法 [P]. 
李冬梅 ;
周文 ;
刘明 ;
侯成诚 ;
汪幸 ;
闫学锋 ;
谢常青 ;
霍宗亮 .
中国专利 :CN102375029A ,2012-03-14
[3]
一种制作复合半导体薄膜材料的方法 [P]. 
李冬梅 ;
侯成诚 ;
刘明 ;
周文 ;
汪幸 ;
闫学锋 ;
谢常青 ;
霍宗亮 .
中国专利 :CN102373470B ,2012-03-14
[4]
一种制作高选择性半导体薄膜方法 [P]. 
叶甜春 ;
闫学锋 ;
李冬梅 ;
刘明 ;
侯成诚 ;
周文 ;
汪幸 .
中国专利 :CN102375028A ,2012-03-14
[5]
一种半导体薄膜材料 [P]. 
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[6]
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[7]
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游天桂 ;
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[8]
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[9]
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[10]
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