激光脉冲沉积法制备白光光电导效应的掺铁碳薄膜材料

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910081398.5

申请日：

2009-04-03

公开(公告)号：

CN101550530A

公开(公告)日：

2009-10-07

发明(设计)人：

章晓中万蔡华高熙礼张歆吴利华

申请人：

申请人地址：

100084北京市100084-82信箱

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1428 H01L310288 H01L3118

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司

代理人：

童晓琳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101661883211 IPC(主分类):C23C 14/06 专利号:ZL2009100813985 申请日:20090403 授权公告日:20101110 终止日期:20150403
2009-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-10-07	公开	公开
2010-11-10	授权	授权

共 49 条

[11]

一种具有日光光伏效应的异质结薄膜材料及其制备方法 [P].

谭新玉 ;

章晓中 ;

高熙礼 ;

万蔡华 .

中国专利 :CN102263143A ,2011-11-30

[12]

可制备平整的薄膜材料的脉冲激光沉积方法及其装置 [P].

沈维康 ;

马玉蓉 ;

方容川 ;

王冠中 ;

韩新海 .

中国专利 :CN1389590A ,2003-01-08

[13]

激光脉冲沉积法制备Cu扩散掺杂ZnO基半导体的方法 [P].

方庆清 ;

张瀚铭 .

中国专利 :CN102372500A ,2012-03-14

[14]

脉冲激光沉积法制备Al-N共掺杂P型ZnO薄膜 [P].

韩培培 ;

王丽 ;

权纯逸 ;

连建设 .

中国专利 :CN103290366A ,2013-09-11

[15]

一种具有负光电导效应的晶体管及其制备方法 [P].

孙佳 ;

靳晨星 ;

阳军亮 ;

周博升 .

中国专利 :CN114512550B ,2024-01-16

[16]

一种具有负光电导效应的晶体管及其制备方法 [P].

孙佳 ;

靳晨星 ;

阳军亮 ;

周博升 .

中国专利 :CN114512550A ,2022-05-17

[17]

一种具有光电导效应的有机无机杂化材料晶体及其应用 [P].

王守宇 ;

陈晓丽 ;

雷蕴麟 ;

刘卫芳 ;

刘慧兰 .

中国专利 :CN110194780A ,2019-09-03

[18]

脉冲激光沉积制备低带隙铁电光伏薄膜的方法 [P].

何云斌 ;

徐芳 ;

黎明锴 ;

周桃生 .

中国专利 :CN104388894A ,2015-03-04

[19]

一种短脉冲激光沉积薄膜的制备方法 [P].

李楠 ;

陈波 ;

李培源 ;

夏洋 ;

卢维尔 .

中国专利 :CN112853278B ,2021-05-28

[20]

一种Cs2SnI6薄膜的激光脉冲沉积制备方法 [P].

罗派峰 ;

夏伟 ;

周圣稳 .

中国专利 :CN105925938B ,2016-09-07

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