激光脉冲沉积法制备白光光电导效应的掺铁碳薄膜材料

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910081398.5

申请日：

2009-04-03

公开(公告)号：

CN101550530A

公开(公告)日：

2009-10-07

发明(设计)人：

章晓中万蔡华高熙礼张歆吴利华

申请人：

申请人地址：

100084北京市100084-82信箱

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1428 H01L310288 H01L3118

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司

代理人：

童晓琳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101661883211 IPC(主分类):C23C 14/06 专利号:ZL2009100813985 申请日:20090403 授权公告日:20101110 终止日期:20150403
2009-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-10-07	公开	公开
2010-11-10	授权	授权

共 49 条

[41]

一种基于脉冲激光沉积技术的β-Fe2O3外延薄膜的制备方法 [P].

李灿 ;

尹航 ;

施晶莹 .

中国专利 :CN119640212A ,2025-03-18

[42]

电沉积法制备三带隙铁掺杂铜镓硫太阳能电池材料的方法 [P].

杨穗 ;

牛广海 ;

吕鑫鑫 ;

曹洲 ;

钟建新 ;

易捷 .

中国专利 :CN104795456A ,2015-07-22

[43]

一种用晶核预控制激光晶化法制备多晶硅薄膜材料的方法 [P].

李娟 ;

叶成枝 ;

尹春建 ;

熊绍珍 ;

宰亚孟 .

中国专利 :CN102263014A ,2011-11-30

[44]

一种具有电致变色效应的铋铁钛复合氧化物薄膜材料的制备方法 [P].

俞圣雯 ;

管磊 ;

王悦 ;

韩薇 .

中国专利 :CN104844013A ,2015-08-19

[45]

基于液相MXene材料的薄膜均匀沉积、高精度图案化及光电器件规模化制备方法 [P].

孙东明 ;

李波 ;

朱钱兵 ;

崔聪 ;

王晓辉 .

中国专利 :CN112768610A ,2021-05-07

[46]

基于磁控溅射法制备的MoS2可饱和吸收体薄膜及相应的超短脉冲光纤激光器 [P].

陶丽丽 ;

李京波 ;

邹炳锁 ;

陈燚 ;

张荣兴 .

中国专利 :CN106129796A ,2016-11-16

[47]

一种分步脉冲电沉积后退火制备铜锌锡硫太阳能电池薄膜材料的方法 [P].

杨穗 ;

陈昌貌 ;

易捷 ;

单锐 ;

田心怡 ;

钟建新 .

中国专利 :CN108486623A ,2018-09-04

[48]

一种脉冲激光辅助化学气相沉积生长系统装置及用其制备低维材料的方法 [P].

张金星 ;

宋创业 .

中国专利 :CN106702352B ,2017-05-24

[49]

一种电沉积法制备三带隙铬掺杂铜锌锡硫太阳能电池薄膜材料的方法 [P].

杨穗 ;

周鹏 ;

易捷 ;

钟建新 .

中国专利 :CN113193080A ,2021-07-30

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