激光脉冲沉积法制备白光光电导效应的掺铁碳薄膜材料

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200910081398.5
申请日
2009-04-03
公开(公告)号
CN101550530A
公开(公告)日
2009-10-07
发明(设计)人
章晓中 万蔡华 高熙礼 张歆 吴利华
申请人
申请人地址
100084北京市100084-82信箱
IPC主分类号
C23C1406
IPC分类号
C23C1428 H01L310288 H01L3118
代理机构
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人
童晓琳
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 49 条
[21]
激光脉冲溅射沉积制备Ni-Mn-Co-In合金薄膜的方法 [P]. 
董桂馥 .
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李红亮 ;
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崔益秀 ;
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曹勇 .
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凌志聪 .
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[24]
通过脉冲激光沉积制备的透明且高k的薄膜 [P]. 
黄栋 ;
凌志聪 .
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[25]
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凌海峰 ;
潘帅闻 ;
王乐 ;
王一如 ;
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[28]
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刘震 ;
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程波林 ;
金奎娟 ;
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杨国桢 .
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[29]
激光沉积法制备纳米碳管负载铂催化剂的方法 [P]. 
严新焕 ;
杨建锋 ;
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李小年 .
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[30]
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黄剑锋 ;
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冯永强 ;
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中国专利 :CN120272968A ,2025-07-08