膜厚测量装置、膜厚测量方法、成膜系统和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110224635.X

申请日：

2021-03-01

公开(公告)号：

CN113375567A

公开(公告)日：

2021-09-10

发明(设计)人：

品田正人竹山环小野一修铃木直行千早宏昭 E·N·阿瓦拉

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

B32B900 B32B904 B32B3300 B32B3818

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;徐飞跃

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20210301
2021-09-10	公开	公开

共 50 条

[1]

膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P].

田帅飞 ;

陶泽 ;

杨康 .

中国专利 :CN119230431A ,2024-12-31

[2]

膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P].

田帅飞 ;

陶泽 ;

杨康 .

中国专利 :CN119230431B ,2025-11-04

[3]

膜厚测量装置和膜厚测量方法 [P].

张建楠 ;

封宾 ;

袁剑峰 .

中国专利 :CN103994740A ,2014-08-20

[4]

膜厚测量装置和成膜装置 [P].

佐井旭阳 ;

日向阳平 ;

大泷芳幸 ;

姜友松 .

中国专利 :CN104395690B ,2015-03-04

[5]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

高濑惠宏 ;

中西英俊 ;

木濑一夫 ;

河野元宏 ;

川山巌 ;

斗内政吉 .

中国专利 :CN108027236A ,2018-05-11

[6]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

大冢贤一 ;

增冈英树 ;

井口和也 .

日本专利 :CN120344818A ,2025-07-18

[7]

膜厚测量方法及膜厚测量装置 [P].

大塚贤一 ;

中野哲寿 .

中国专利 :CN105940282A ,2016-09-14

[8]

膜厚测量装置以及膜厚测量方法 [P].

川口史朗 ;

中嶋一八 .

中国专利 :CN112781506A ,2021-05-11

[9]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

年婷 .

中国专利 :CN108120409B ,2018-06-05

[10]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

大冢贤一 ;

增冈英树 ;

井口和也 .

日本专利 :CN120303531A ,2025-07-11

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