一种基板镀膜方法

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专利类型
发明
申请号
CN03147542.6
申请日
2003-07-22
公开(公告)号
CN1271683C
公开(公告)日
2004-03-10
发明(设计)人
平尾秀司
申请人
申请人地址
日本大阪府
IPC主分类号
H01L21288
IPC分类号
H01L213205
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司
代理人
汪惠民
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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