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半导体器件在位检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220587593.2
申请日：
2012-11-08
公开(公告)号：
CN202916452U
公开(公告)日：
2013-05-01
发明(设计)人：
王焕平
申请人：
申请人地址：
518054 广东省深圳市南山区蛇口悠然居C座25A
IPC主分类号：
G01V814
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-05-01 | 授权 | 授权 |
| 2017-02-08 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101702116085 IPC(主分类):G01V 8/14 专利号:ZL2012205875932 申请日:20121108 授权公告日:20130501 终止日期:20151108 |