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半导体器件检测装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN97129766.5
申请日：
1997-12-26
公开(公告)号：
CN1192042A
公开(公告)日：
1998-09-02
发明(设计)人：
古田胜信
后藤敏雄
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
柳沈知识产权律师事务所
代理人：
李晓舒
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2002-12-11 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |
| 1998-09-02 | 公开 | 公开 |
| 1998-08-05 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |