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一种晶圆级计量标准器及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110069987.2
申请日：
2021-01-19
公开(公告)号：
CN112881960A
公开(公告)日：
2021-06-01
发明(设计)人：
饶张飞
秦凯亮
金红霞
申请人：
申请人地址：
710065 陕西省西安市雁塔区太白南路198号
IPC主分类号：
G01R3500
IPC分类号：
G01B2100
G03F720
代理机构：
西安通大专利代理有限责任公司 61200
代理人：
崔方方
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 35/00 申请日:20210119 |
| 2021-06-01 | 公开 | 公开 |