曝光装置、及元件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310020306.9

申请日：

2005-11-18

公开(公告)号：

CN103149803B

公开(公告)日：

2013-06-12

发明(设计)人：

安田雅彦杉原太郎

申请人：

申请人地址：

日本东京都千代田区丸之内3丁目2番3号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-12	公开	公开
2016-03-30	授权	授权
2020-10-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20051118 授权公告日:20160330 终止日期:20191118
2013-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101490726560 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100203069 申请日:20051118

共 50 条

[1]

位置控制方法、曝光方法及曝光装置、及元件制造方法 [P].

安田雅彦 ;

杉原太郎 .

中国专利 :CN104360582B ,2015-02-18

[2]

测量方法、装载方法、曝光方法及曝光装置、及元件制造方法 [P].

安田雅彦 ;

杉原太郎 .

中国专利 :CN103186057A ,2013-07-03

[3]

位置测量方法、位置控制方法、曝光方法及曝光装置、及元件制造方法 [P].

安田雅彦 ;

杉原太郎 .

中国专利 :CN103149802A ,2013-06-12

[4]

曝光装置及元件制造方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN108490741A ,2018-09-04

[5]

曝光装置及元件制造方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN101819386A ,2010-09-01

[6]

曝光装置及元件制造方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN101095213A ,2007-12-26

[7]

曝光装置及元件制造方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN105467775A ,2016-04-06

[8]

位置测量方法、位置控制方法、测量方法、装载方法、曝光方法及曝光装置、及元件制造方法 [P].

安田雅彦 ;

杉原太郎 .

中国专利 :CN101057316A ,2007-10-17

[9]

曝光装置及元件制造方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN101776850B ,2010-07-14

[10]

曝光方法及曝光装置、以及元件制造方法 [P].

柴崎佑一 .

中国专利 :CN102636966B ,2012-08-15

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