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钌化合物、薄膜形成用原料以及薄膜的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880072963.9
申请日：
2018-07-27
公开(公告)号：
CN111344294A
公开(公告)日：
2020-06-26
发明(设计)人：
吉野智晴
远津正挥
冈田奈奈
畑濑雅子
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
C07F1500
IPC分类号：
C23C1618
H01L2128
H01L21285
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
吕琳;朴秀玉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-26 | 公开 | 公开 |
| 2020-08-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C07F 15/00 申请日:20180727 |