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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2002-09-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2004-09-22 | 授权 | 授权 |
| 2016-08-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101675747280 IPC(主分类):H01L 27/10 专利号:ZL001240277 申请日:20000701 授权公告日:20040922 终止日期:20150701 |
| 2001-01-17 | 公开 | 公开 |