用于EUV的多层反射镜、其波前光行差校正法及包含它的EUV光学系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN01135499.2

申请日：

2001-10-22

公开(公告)号：

CN1350185A

公开(公告)日：

2002-05-22

发明(设计)人：

白石雅之村上胜彦近藤洋行神高典明

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G02B508

IPC分类号：

G03F720 H01L21027

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

武玉琴;朱登河

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2002-05-22	公开	公开
2004-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-01-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

EUV反射镜和包括EUV反射镜的光学系统 [P].

T.希克坦兹 ;

H-J.保罗 ;

C.扎克齐克 .

中国专利 :CN104919537B ,2015-09-16

[2]

EUV反射镜布置、包括EUV反射镜布置的光学系统以及操作包括EUV反射镜布置的光学系统的方法 [P].

U.丁格 ;

F.比杰科克 ;

M.拜拉克塔 ;

O.迪尔 .

中国专利 :CN103443863B ,2013-12-11

[3]

反射式光学元件和EUV光刻的光学系统 [P].

C.诺特伯姆 .

中国专利 :CN108496116B ,2018-09-04

[4]

用于EUV光谱区域的热稳定的多层的反射镜 [P].

N·比诺特 ;

T·费格尔 ;

N·凯瑟 ;

S·尤林 .

中国专利 :CN101088031A ,2007-12-12

[5]

反射镜组、生长反射镜组的方法、光学器件和光学系统 [P].

李志超 ;

廖传武 ;

侯炳泽 ;

贺亮 .

中国专利 :CN112230315B ,2021-01-15

[6]

改进的反射镜光学系统 [P].

理查德·雅克·特奥多尔·弗里森 .

中国专利 :CN101688027A ,2010-03-31

[7]

多层膜反射镜及制法、光学系统、曝光装置及元件的制法 [P].

白石雅之 .

中国专利 :CN101278376A ,2008-10-01

[8]

光学系统及包含其的车灯 [P].

杨超 ;

苏建材 .

中国专利 :CN216281149U ,2022-04-12

[9]

光刻曝光设备的反射镜布置和包括反射镜布置的光学系统 [P].

W.B.J.哈克福特 ;

R.P.霍杰沃尔斯特 ;

P.T.罗格斯 ;

K.希尔德 ;

T.格鲁纳 .

中国专利 :CN107851473A ,2018-03-27

[10]

EUV投射光刻的照明光学系统 [P].

A.温克勒 ;

D.楞次 ;

T.费希尔 .

中国专利 :CN107223217A ,2017-09-29

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