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一种半导体晶圆夹持装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821253382.9
申请日：
2018-08-06
公开(公告)号：
CN208570577U
公开(公告)日：
2019-03-01
发明(设计)人：
王成
徐晶骥
申请人：
申请人地址：
200120 上海市浦东新区自由贸易试验区泰谷路85号六层601-603室
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-01 | 授权 | 授权 |