扩散阻挡层的淀积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN98105911.2

申请日：

1998-03-30

公开(公告)号：

CN1195188A

公开(公告)日：

1998-10-07

发明(设计)人：

阿加伊·加因伊利沙白·威茨曼

申请人：

申请人地址：

美国伊利诺斯

IPC主分类号：

H01L213205

IPC分类号：

C23C1630

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王永刚

法律状态：

实质审查请求的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2000-06-21	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2004-09-08	专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移	专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更事项:申请人变更前权利人:摩托罗拉公司变更后权利人:自由度半导体公司变更事项:地址变更前权利人:美国伊利诺斯变更后权利人:美国得克萨斯登记生效日:20040806
2005-06-01	授权	授权
2013-07-31	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101640033491 IPC(主分类):H01L 21/3205 专利号:ZL981059112 变更事项:专利权人变更前:自由度半导体公司变更后:飞思卡尔半导体公司变更事项:地址变更前:美国得克萨斯变更后:美国得克萨斯
1998-10-07	公开	公开
2018-04-24	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/3205 申请日:19980330 授权公告日:20050601

共 50 条

[1]

扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法 [P].

M·哈拉兹奥尔松 ;

H·特兰夸克 ;

A·加利相 .

中国专利 :CN1977404A ,2007-06-06

[2]

化学汽相淀积生成TiN阻挡层的方法 [P].

徐小诚 ;

缪炳有 .

中国专利 :CN1222014C ,2003-04-30

[3]

一种选择性淀积铜互连扩散阻挡层的方法 [P].

孙清清 ;

王鹏飞 ;

丁士进 ;

张卫 .

中国专利 :CN101692437A ,2010-04-07

[4]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

刘洋 ;

何丹丹 ;

汪雷 ;

王婷 .

中国专利 :CN110970350A ,2020-04-07

[5]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

王婷 ;

汪雷 ;

刘洋 ;

何丹丹 .

中国专利 :CN110970349A ,2020-04-07

[6]

制作扩散阻挡层的方法 [P].

徐强 .

中国专利 :CN102110639A ,2011-06-29

[7]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN110053423A ,2019-07-26

[8]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

P·温斯顿 ;

B·E·史蒂文斯 .

中国专利 :CN107206421A ,2017-09-26

[9]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104870107A ,2015-08-26

[10]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104114286A ,2014-10-22

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