浅沟槽隔离区的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03100237.4

申请日：

2003-01-06

公开(公告)号：

CN1259706C

公开(公告)日：

2004-07-28

发明(设计)人：

马思尊张国华

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区力行路16号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2176

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

王学强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-06-14	授权	授权
2004-07-28	公开	公开
2004-09-29	实质审查的生效	实质审查的生效
2021-12-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20030106 授权公告日:20060614 终止日期:20210106

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离区、浅沟槽隔离区掩膜版及浅沟槽隔离区制造方法 [P].

孟兆祥 ;

李庆刚 ;

刘庆炜 .

中国专利 :CN101246884A ,2008-08-20

[2]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

洪永泰 ;

庄东汉 .

中国专利 :CN1280888C ,2005-01-19

[3]

形成浅沟槽隔离区的方法 [P].

夏雁宾 ;

杨玲 ;

张飞 .

中国专利 :CN103681448A ,2014-03-26

[4]

保护浅沟槽隔离区的方法 [P].

沈萍 ;

马旭 ;

曹亚民 .

中国专利 :CN103337473A ,2013-10-02

[5]

形成浅沟槽隔离区的方法 [P].

林平伟 ;

游曜声 ;

王雅琳 .

中国专利 :CN1442895A ,2003-09-17

[6]

形成浅沟槽隔离区的方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103579076B ,2014-02-12

[7]

形成浅沟槽隔离区的方法 [P].

张飞 ;

杨玲 ;

夏雁宾 .

中国专利 :CN103681449A ,2014-03-26

[8]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

熊涛 ;

罗啸 ;

陈瑜 .

中国专利 :CN102593038A ,2012-07-18

[9]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

曾绍海 .

中国专利 :CN103730404A ,2014-04-16

[10]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

刘石香 .

中国专利 :CN101312147A ,2008-11-26

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