一种硅片裂片装置及硅片划片加工系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201811222638.4
申请日
2018-10-19
公开(公告)号
CN109333844A
公开(公告)日
2019-02-15
发明(设计)人
卫哲 李志刚 艾辉 徐贵阳 雷合鸿
申请人
申请人地址
430223 湖北省武汉市东湖新技术开发区华师园二路5号
IPC主分类号
B28D500
IPC分类号
代理机构
北京轻创知识产权代理有限公司 11212
代理人
杨立;陈振玉
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片裂片装置及硅片划片加工系统 [P]. 
卫哲 ;
李志刚 ;
艾辉 ;
徐贵阳 ;
雷合鸿 .
中国专利 :CN209552182U ,2019-10-29
[2]
一种硅片裂片装置及硅片划片加工系统 [P]. 
卫哲 ;
李志刚 ;
艾辉 ;
徐贵阳 ;
雷合鸿 .
中国专利 :CN109333844B ,2024-01-05
[3]
一种硅片翻转组件、硅片输送装置及硅片加工系统 [P]. 
严文言 ;
李雪锋 ;
李阳 .
中国专利 :CN222051725U ,2024-11-22
[4]
硅片棒缓存装置及硅片加工系统 [P]. 
周敬 ;
潘士达 ;
史文龙 ;
付明全 ;
杨洋 .
中国专利 :CN222380561U ,2025-01-21
[5]
一种硅片清洗设备及硅片加工系统 [P]. 
吴林俊 ;
诸葛良 ;
陈杭 ;
许俊虎 ;
缪江 .
中国专利 :CN222678959U ,2025-03-28
[6]
硅片下料装置以及硅片加工系统 [P]. 
肖兵 ;
李雪锋 ;
李阳 .
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[7]
一种硅片自动裂片机 [P]. 
许玉雷 .
中国专利 :CN114284169B ,2025-01-28
[8]
硅片加工系统 [P]. 
李玉卓 ;
沙娟 .
中国专利 :CN209273722U ,2019-08-20
[9]
一种新型硅片自动裂片机 [P]. 
许玉雷 .
中国专利 :CN214956786U ,2021-11-30
[10]
一种新型硅片自动裂片机 [P]. 
许玉雷 .
中国专利 :CN114284169A ,2022-04-05