GaN衬底、带外延层的衬底、半导体器件及GaN衬底制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200810130233.8
申请日
2008-06-16
公开(公告)号
CN101345221A
公开(公告)日
2009-01-14
发明(设计)人
笠井仁 石桥惠二 中畑成二 秋田胜史 京野孝史 三浦祥纪
申请人
申请人地址
日本大阪府大阪市
IPC主分类号
H01L2300
IPC分类号
H01L2120 H01L3300 H01S500 C30B2940
代理机构
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人
梁晓广;陆锦华
法律状态
专利权的视为放弃
国省代码
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共 50 条
[1]
GaN衬底、带外延层的衬底、半导体器件及GaN衬底制造方法 [P]. 
长田英树 ;
笠井仁 ;
石桥惠二 ;
中畑成二 ;
京野孝史 ;
秋田胜史 ;
三浦祥纪 .
中国专利 :CN101350333A ,2009-01-21
[2]
GaN外延衬底、半导体器件以及制造GaN外延衬底和半导体器件的方法 [P]. 
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元木健作 .
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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中西文毅 ;
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[10]
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