一种具有防护结构的SiC晶圆激光切割装置

被引：0

申请号：

CN202221033454.5

申请日：

2022-04-29

公开(公告)号：

CN217142761U

公开(公告)日：

2022-08-09

发明(设计)人：

孙大海钱少杰

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区泰山路688号

IPC主分类号：

B23K2638

IPC分类号：

B23K26402 B23K2670

代理机构：

苏州三英知识产权代理有限公司 32412

代理人：

潘时伟

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种具有快速定位结构的SiC晶圆激光切割装置 [P].

钱少杰 ;

孙大海 .

中国专利 :CN217142764U ,2022-08-09

[2]

一种具有防护机构的晶圆激光切割机 [P].

朱万杰 .

中国专利 :CN222944730U ,2025-06-06

[3]

一种晶圆片的激光切割装置 [P].

陈义红 ;

李贵林 ;

陈聪 ;

李陵江 .

中国专利 :CN209919117U ,2020-01-10

[4]

一种晶圆片的激光切割装置 [P].

程元存 .

中国专利 :CN223222674U ,2025-08-15

[5]

一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构 [P].

巩铁建 ;

陶为银 .

中国专利 :CN213053309U ,2021-04-27

[6]

一种晶圆片激光切割装置 [P].

何建军 ;

沈桂英 ;

赵有文 .

中国专利 :CN218016382U ,2022-12-13

[7]

一种晶圆片激光切割装置 [P].

卢凯 ;

韦胜 ;

盛育 .

中国专利 :CN213497235U ,2021-06-22

[8]

晶圆激光切割用晶圆片固定结构 [P].

潘潘 ;

李宝 .

中国专利 :CN215699007U ,2022-02-01

[9]

一种SIC晶锭的激光切割装置 [P].

敖林 ;

苗志梅 ;

姚磊 ;

敖建 ;

赵东 .

中国专利 :CN221910279U ,2024-10-29

[10]

一种激光晶圆切割装置 [P].

张少波 .

中国专利 :CN207577693U ,2018-07-06

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