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制造半导体器件的电容器的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200310124042.8
申请日：
2003-12-31
公开(公告)号：
CN1540746A
公开(公告)日：
2004-10-27
发明(设计)人：
徐源善
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
H01L21822
IPC分类号：
代理机构：
北京市柳沈律师事务所
代理人：
李晓舒;魏晓刚
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2008-06-11 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |
| 2004-10-27 | 公开 | 公开 |
| 2005-01-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |