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湿法蚀刻设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710433932.9
申请日：
2017-06-09
公开(公告)号：
CN107316826A
公开(公告)日：
2017-11-03
发明(设计)人：
尹易彪
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
深圳市德力知识产权代理事务所 44265
代理人：
林才桂
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-01 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:深圳市华星光电技术有限公司 变更后:TCL华星光电技术有限公司 变更事项:地址 变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |
| 2017-11-03 | 公开 | 公开 |
| 2017-11-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170609 |
| 2020-01-31 | 授权 | 授权 |