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湿法蚀刻方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411059884.8
申请日：
2024-08-02
公开(公告)号：
CN119049965A
公开(公告)日：
2024-11-29
发明(设计)人：
唐磊
邱宗钰
陈庆鸿
申请人：
北京时代全芯存储技术股份有限公司
申请人地址：
100088 北京市海淀区西土城路1号院6号楼4层405
IPC主分类号：
H01L21/311
IPC分类号：
H01L21/768
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
北京市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-20 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移IPC(主分类):H01L 21/311登记生效日:20241209变更事项:申请人变更前权利人:北京时代全芯存储技术股份有限公司变更后权利人:北京时代全芯存储技术股份有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:100094 北京市海淀区丰豪东路9号院中关村集成电路设计园2D座802变更后权利人:100088 北京市海淀区西土城路1号院6号楼4层405变更事项:申请人变更后权利人:北京时代全芯存储科技有限公司变更事项:国家或地区变更后权利人:中国 |
| 2024-11-29 | 公开 | 公开 |
| 2024-12-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/311申请日:20240802 |