共 50 条
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
一种密封结构及一种半导体设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610929334.6
申请日：
2016-10-31
公开(公告)号：
CN106409728A
公开(公告)日：
2017-02-15
发明(设计)人：
董金卫
申请人：
申请人地址：
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275
代理人：
陶金龙;张磊
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-02-15 | 公开 | 公开 |
| 2017-03-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101707277979 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2016109293346 申请日:20161031 |
| 2018-03-09 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20180213 变更事项:申请人 变更前权利人:北方华创科技集团股份有限公司 变更后权利人:北京北方华创微电子装备有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号 |
| 2018-03-09 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:申请人 变更前:北京七星华创电子股份有限公司 变更后:北方华创科技集团股份有限公司 变更事项:地址 变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |
| 2019-02-19 | 授权 | 授权 |