曝光用掩模版及掩模版组

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920027004.7

申请日：

2019-01-08

公开(公告)号：

CN209149063U

公开(公告)日：

2019-07-23

发明(设计)人：

向洋张波彭林叶宁李凡

申请人：

申请人地址：

610200 四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号

IPC主分类号：

G03F100

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

李小波;刘芳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-23	授权	授权

共 50 条

[31]

一种掩模版清洗花篮 [P].

顾梦星 ;

朱磊 ;

张月圆 ;

陈青 .

中国专利 :CN211350598U ,2020-08-25

[32]

一种掩模版搬运装置 [P].

徐承军 .

中国专利 :CN223174151U ,2025-08-01

[33]

一种新型掩模版库 [P].

王印勋 ;

王野 ;

毕厚海 ;

肖博翰 ;

闵中华 .

中国专利 :CN222621244U ,2025-03-14

[34]

掩模版外形尺寸测量装置 [P].

侯广杰 ;

崔嘉豪 .

中国专利 :CN215725571U ,2022-02-01

[35]

一种掩模版搬运装置 [P].

周荣梵 ;

林超 ;

林伟 .

中国专利 :CN214140595U ,2021-09-07

[36]

掩模版用局部喷颗粒工装 [P].

张兰强 ;

刘军 ;

徐特 .

中国专利 :CN223611215U ,2025-11-28

[37]

一种通用掩模版盒 [P].

朱希进 ;

尤春 ;

刘维维 ;

季书凤 ;

杨长华 ;

薛文卿 ;

张月圆 ;

刘浩 ;

陈青 ;

刘孝君 .

中国专利 :CN208796016U ,2019-04-26

[38]

一种适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具 [P].

陈杰 ;

姜巍 .

中国专利 :CN210742673U ,2020-06-12

[39]

掩模版、约瑟夫森结元件及量子芯片 [P].

杨晖 ;

代志鹏 ;

马亮亮 ;

尤兵 ;

王念慈 ;

陆瑞 .

中国专利 :CN215731778U ,2022-02-01

[40]

一种掩模版及蒸镀机构 [P].

林志斌 .

中国专利 :CN214361641U ,2021-10-08

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