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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-30 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20090521 授权公告日:20120912 终止日期:20200521 |
| 2011-01-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101029375311 IPC(主分类):H01L 29/78 专利申请号:2009100853361 申请日:20090521 |
| 2012-09-12 | 授权 | 授权 |
| 2010-11-24 | 公开 | 公开 |