一种半导体晶粒的切割方法和切割装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610508050.X
申请日
2016-07-01
公开(公告)号
CN105965708A
公开(公告)日
2016-09-28
发明(设计)人
陈磊 陈建民 赵丽萍 钱俊有 张文涛 蔡水占 张会超 王东胜
申请人
申请人地址
461500 河南省许昌市长葛市魏武大道河南鸿昌电子有限公司
IPC主分类号
B28D504
IPC分类号
B28D702
代理机构
代理人
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体晶粒切割装置 [P]. 
陈磊 ;
陈建民 ;
赵丽萍 ;
钱俊友 ;
张文涛 ;
蔡水占 ;
张会超 ;
王东胜 .
中国专利 :CN205905225U ,2017-01-25
[2]
一种半导体晶粒线切割的方法和切割液 [P]. 
陈磊 ;
陈建民 ;
赵丽萍 ;
钱俊有 ;
张文涛 ;
蔡水占 ;
张会超 ;
王东胜 .
中国专利 :CN105810635A ,2016-07-27
[3]
一种半导体晶粒切割装置 [P]. 
赵萍 .
中国专利 :CN213829777U ,2021-07-30
[4]
一种半导体晶粒切割装置 [P]. 
余兆永 .
中国专利 :CN213947046U ,2021-08-13
[5]
制造半导体器件的方法和用于切割半导体晶片的切割装置 [P]. 
有田洁 .
中国专利 :CN1701435A ,2005-11-23
[6]
涂抹清理剂的半导体晶粒线切割装置 [P]. 
陈建民 ;
赵丽萍 ;
董铱斐 ;
张文涛 ;
李永校 ;
钱俊有 ;
惠小青 ;
蔡水占 ;
王丹 .
中国专利 :CN212266293U ,2021-01-01
[7]
一种行星式旋转切割半导体的切割设备和切割方法 [P]. 
张九阳 ;
梁庆瑞 ;
王瑞 ;
李印 ;
邵殿领 ;
孙诗甫 ;
薛港生 .
中国专利 :CN119388604A ,2025-02-07
[8]
一种半导体激光切割装置 [P]. 
刘明华 ;
刘翔东 ;
甘健康 .
中国专利 :CN114131224B ,2024-07-26
[9]
一种半导体加工切割装置 [P]. 
孙杰 ;
汪日记 ;
王光余 .
中国专利 :CN220922916U ,2024-05-10
[10]
一种半导体激光切割装置 [P]. 
刘明华 ;
刘翔东 ;
甘健康 .
中国专利 :CN114131224A ,2022-03-04