一种曝光装置及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510617551.7

申请日：

2015-09-24

公开(公告)号：

CN105116692B

公开(公告)日：

2015-12-02

发明(设计)人：

肖宇汪栋李晓光

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-02	公开	公开
2018-03-09	授权	授权
2015-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101640136892 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015106175517 申请日:20150924

共 50 条

[1]

曝光机构及曝光装置 [P].

陆宣凯 .

中国专利 :CN218240665U ,2023-01-06

[2]

一种曝光方法、基板及曝光装置 [P].

李晓光 ;

肖宇 ;

薛超 ;

汪栋 .

中国专利 :CN106125516B ,2016-11-16

[3]

一种曝光装置及曝光方法 [P].

詹敏 .

中国专利 :CN109557772A ,2019-04-02

[4]

一种曝光装置及曝光方法 [P].

程琦 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN106154760B ,2016-11-23

[5]

一种曝光装置及曝光方法 [P].

彭川 .

中国专利 :CN104991427B ,2015-10-21

[6]

一种曝光方法及曝光装置 [P].

周晓方 .

中国专利 :CN113900356A ,2022-01-07

[7]

一种曝光装置及其曝光方法 [P].

马海涛 ;

赵海生 .

中国专利 :CN103324037A ,2013-09-25

[8]

一种掩膜装置、曝光装置及曝光方法 [P].

吴斌 ;

余忠兴 .

中国专利 :CN104597723A ,2015-05-06

[9]

曝光装置及曝光方法 [P].

藤原朋春 ;

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101598903A ,2009-12-09

[10]

曝光方法及曝光装置 [P].

李煜芝 ;

戴文斌 ;

张民山 ;

蓝科 ;

周畅 .

中国专利 :CN118092085B ,2025-04-25

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