适用于硬脆易解理单晶氧化镓晶片的高效低损伤研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611130455.0

申请日：

2016-12-09

公开(公告)号：

CN106711032B

公开(公告)日：

2017-05-24

发明(设计)人：

徐晓明周海黄传锦徐彤彤夏斯伟龚凯

申请人：

申请人地址：

224051 江苏省盐城市世纪大道1166号研创大厦

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

杨海军

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-24	公开	公开
2017-06-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101727784372 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2016111304550 申请日:20161209
2019-03-29	授权	授权

共 32 条

[1]

氧化镓晶片抗解理悬浮研磨液及其制备方法 [P].

周海 ;

徐晓明 ;

龚凯 .

中国专利 :CN105273638A ,2016-01-27

[2]

单晶氧化镓的制备方法及用于制备单晶氧化镓的工艺设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN114381800B ,2024-09-20

[3]

单晶氧化镓的制备方法及用于制备单晶氧化镓的工艺设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114381800A ,2022-04-22

[4]

一种氧化镓晶片防解理的边缘磨削方法 [P].

张弛 ;

李晖 ;

霍晓青 ;

高飞 ;

王磊 ;

张胜男 ;

高鹏程 ;

王淳 ;

李响 .

中国专利 :CN114161258B ,2024-08-27

[5]

一种氧化镓晶片防解理的边缘磨削方法 [P].

张弛 ;

李晖 ;

霍晓青 ;

高飞 ;

王磊 ;

张胜男 ;

高鹏程 ;

王淳 ;

李响 .

中国专利 :CN114161258A ,2022-03-11

[6]

一种氧化镓单晶片的制备方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN114012917B ,2024-10-15

[7]

一种氧化镓单晶片的制备方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114012917A ,2022-02-08

[8]

适用于氧化镓晶体的生长设备 [P].

肖迪 .

中国专利 :CN111719180A ,2020-09-29

[9]

一种用于检测氧化镓单晶加工表面损伤层的腐蚀液及检测方法 [P].

周海 ;

韦嘉辉 ;

张杰群 ;

沈军州 ;

朱江 .

中国专利 :CN111829941A ,2020-10-27

[10]

一种适用于氧化镓衬底的环保研磨膏及其制备方法 [P].

黄传锦 ;

周海 ;

顾斌 ;

徐晓明 ;

龚凯 .

中国专利 :CN105950115A ,2016-09-21

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