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半导体承载装置的弹性限位结构
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201320636256.2
申请日
:
2013-10-15
公开(公告)号
:
CN203562414U
公开(公告)日
:
2014-04-23
发明(设计)人
:
罗郁南
申请人
:
申请人地址
:
215300 江苏省苏州市昆山经济技术开发区三巷路500号
IPC主分类号
:
H01L21683
IPC分类号
:
H01L21673
代理机构
:
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人
:
丁纪铁
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2014-04-23
授权
授权
共 50 条
[1]
半导体承载装置的阶级弹性限位结构
[P].
罗郁南
论文数:
0
引用数:
0
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0
罗郁南
.
中国专利
:CN203690274U
,2014-07-02
[2]
半导体承载系统及半导体承载装置
[P].
李海卫
论文数:
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李海卫
;
张鹏斌
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张鹏斌
;
陈鲁
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陈鲁
.
中国专利
:CN212648210U
,2021-03-02
[3]
半导体承载盘结构
[P].
王智
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王智
.
中国专利
:CN206250171U
,2017-06-13
[4]
半导体承载装置
[P].
吴聪
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0
吴聪
.
中国专利
:CN217134344U
,2022-08-05
[5]
半导体承载结构
[P].
江振丰
论文数:
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江振丰
.
中国专利
:CN201508853U
,2010-06-16
[6]
半导体晶片承载装置
[P].
蔡裕斌
论文数:
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蔡裕斌
;
鲍治民
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鲍治民
;
曾清风
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曾清风
;
褚福堂
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褚福堂
.
中国专利
:CN2585405Y
,2003-11-05
[7]
半导体晶片承载装置
[P].
谢文乐
论文数:
0
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谢文乐
.
中国专利
:CN2421271Y
,2001-02-28
[8]
半导体承载系统及半导体承载装置
[P].
卢胜杰
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卢胜杰
;
王康
论文数:
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王康
.
中国专利
:CN114256123A
,2022-03-29
[9]
蒸镀半导体元件承载环及具有该承载环的承载装置
[P].
周子弘
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周子弘
;
张谦成
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张谦成
;
林耀辉
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林耀辉
.
中国专利
:CN202695403U
,2013-01-23
[10]
承载装置及半导体设备
[P].
徐鹏帅
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
徐鹏帅
.
中国专利
:CN220543874U
,2024-02-27
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