半导体承载盘的识别装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN02292801.4
申请日
2002-12-17
公开(公告)号
CN2588528Y
公开(公告)日
2003-11-26
发明(设计)人
黄俊献
申请人
申请人地址
中国台湾
IPC主分类号
H01L2100
IPC分类号
代理机构
永新专利商标代理有限公司
代理人
李树明
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体承载系统及半导体承载装置 [P]. 
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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